"AMAT 해외 첫 반도체 전공정 장비 연구소…대만에는 계획 없어"
 

매출 기준 세계 1위 반도체 장비 회사인 미국 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 경기도에 연구소를 짓기 위해 관련 부지를 찾고 있다며 곧 선정할 것이라고 밝혔다.

박광선 어플라이드머티어리얼즈 한국지사장은 13일 서울 삼성동 그랜드인터컨티넨탈서울파르나스호텔에서 열린 기자간담회에서 “경기도와 업무협약(MOU)을 맺고 연구소를 어디 지을지 찾고 있다”며 “조만간 결정할 것”이라고 말했다.


 

어플라이드머티어리얼즈는 지난해 9월 22일(현지시간) 윤석열 대통령이 유엔총회에 참석하고자 미국을 찾은 가운데 개최된 북미 지역 투자 신고식에서 반도체 장비 연구소를 경기도에 신설하겠다고 발표했다.

박 사장은 “어플라이드머티어리얼즈 장비의 70%를 미국 텍사스 오스틴에서 만든다”며 “한국에서 생산하는 비중은 작지만, 연구소를 지어 고객과 협업할 것”이라고 설명했다.

어플라이드머티어리얼즈 한국연구소는 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장이 있는 경기 용인·화성·평택시 인근에 자리 잡을 것으로 보인다. 박 사장은 “고객사와 무조건 가까운 쪽으로 가려고 한다”고 언급했다.

그는 “경기도 연구소는 어플라이드머티어리얼즈가 해외에 짓는 첫 번째 전공정 설비 연구소”라며 “대만에도 없고, 당분간 그곳에 지을 계획도 없다”고 강조했다. 그러면서 “한국 반도체 기업과 메모리 반도체는 물론이고 반도체 위탁생산(Foundry·파운드리)까지 아우르는 협력 장소를 만드는 데 의미가 있다”고 설명했다.

‘투자 금액과 완공 일정이 궁금하다’는 물음에는 “예측하기 어렵다”며 “부지를 정하고 나서 땅값과 디자인·건축 비용을 고려해야 한다”고 답했다. 다만 “최대한 빠르게 진행해 내년까지 완공하고 싶었지만 부지를 찾고 법률을 검토하느라 미뤄졌다”며 “부지를 고르고 2년이면 다 짓지 않을까 싶다”고 덧붙였다.
 

한편 어플라이드머티어리얼즈는 이날 전자빔(eBeam) 기술을 활용한 반도체 계측·검사 장비 신제품을 공개했다. ‘프라임비전 10 결함 검출 장비’는 반도체 실리콘 원판(Wafer·웨이퍼) 표면에 미세한 결함이 있는지 검사한다.

이석우 어플라이드머티어리얼즈 한국지사 기술 담당은 “나노미터(1㎚=10억분의 1ｍ) 단위 3차원(3D) 게이트올어라운드(GAA) 구조 로직 소자와 고종횡비(High Aspect Ratio) 메모리 소자 수율에 영향을 미치는 치명적인 결함을 검사한다”고 소개했다.


 
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